Ruteeniumi sihtmärk

Antioksüdantne, korrosioonikindel-ja ühtlaselt kilet-moodustav, pakkudes väga usaldusväärset õhukese{{2}kile sadestamise lahendust pooljuhtide ja andmesalvestusrakenduste jaoks.

Ruteeniumi pihustussihtmärk on plaatinarühma väärismetallist pihustusmärk, mis on valmistatud kõrge{0}}puhtusega ruteeniumist (Ru) rafineerimise, sulatamise, sepistamise ja täppistöötluse teel. Seda kasutatakse peamiselt füüsilise aurustamise-sadestamise (PVD) magnetroni pihustusprotsessides. Sellel tootel on kõrge sulamistemperatuur, kõrge kõvadus, suurepärane oksüdatsioonikindlus ja keemiline stabiilsus, mis võimaldab toota ühtlaseid ja tihedaid ruteeniumkilesid. See leiab ulatuslikke rakendusi täiustatud pooljuhtmälus, integraallülitustes, difusioonitõkkekihtides ning andmesalvestus- ja kuvaseadmetes.

Küsi pakkumist

Toote kirjeldus

See ruteeniumi sihtmärkide seeria on valmistatud kõrge{0}}puhtusastmega ruteeniumi toorainest, saavutades kõrge tiheduse ja ühtlase mikrostruktuuri kaarsulatamise ja terade rafineerimise protsesside abil. Tooted on saadaval erinevates konfiguratsioonides, sealhulgas tasapinnalised ja pöörlevad sihtmärgid, ning toetavad indiumi-siduva/elastse kehaga-siduva tagaplaadi teenuseid, muutes need sobivaks alalisvoolu pihustusrakenduste jaoks.

Funktsioon

Kõrge puhtusastmega tavapärane kvaliteet, saadaval ülikõrge puhtusastmega-.
Kõrge kõvadus, suurepärane kulumiskindlus ning suurepärane oksüdatsiooni- ja korrosioonikindlus.

Liiga kõrge sulamistemperatuur ja suurepärane kõrge{0}}temperatuuri stabiilsus.
Kilel on ühtlane sadestumine ja suur tihedus, mis muudab selle sobivaks täiustatud pooljuhtide tootmisprotsessides.

Tehnilised andmed ja mudelid

Kohandatud mõõtmete, paksuse, puhtuse või tehniliste andmete saamiseks võtke meiega julgelt ühendust. Saame pakkuda kohandatud materjalilahendusi, mis põhinevad teie pihustusseadmetel, katmisnõuetel ja mõõtmete spetsifikatsioonidel.

Klassifikatsiooni mõõde	Toote tüüp	Põhifunktsioonid
Puhtusaste	Erinevad puhtusastmed	Üldotstarbeline-pooljuhtide, kuvarite ja mäluseadmete jaoks.
Toote formaat	Ringikujuline tasapinnaline ruteeniumi märklaud	Standardsed spetsifikatsioonid, ühilduvad enamiku pihustusseadmetega.
	Ristküliku-/plokk{0}}kujuline ruteeniumi sihtmärk	Sobib suure{0}}pindade katmiseks.
	Pöörlev ruteeniumi sihtmärk	Sobib suure{0}}ala suure-tõhususega ladestamiseks.

Rakendus

Pooljuhid: DRAM/MIM kondensaatori elektroodid, ühendavad omavahel difusioonitõkkekihid.
Täiustatud salvestusruum: magnetmälu, faasi{0}}muutmismälu, takistusmälu.
Integraallülitus: vasest ühendatud seemnekiht, tõkkekiht ja loogikaseade.
Kuvaseadmed: lame{0}}ekraanid, OLED-i õhukesed{1}}kileelektroodid.
Optoelektroonika ja fotogalvaanika: optilised katted, fotogalvaaniliste elementide funktsionaalsed kihid.
Täppiselektroonika: kulumiskindlad-elektrilised kontaktid, paks-kiletakistid, andurid.

Kuum tags: ruteeniumi sihtmärk, Hiina ruteeniumi sihtmärgi tootjad, tarnijad, tehas